真空炉

真空炉とは、高温真空の中で金属、セラミックス、ガラスなどの物質を加熱、焼結、蒸着などの熱処理を行う装置です。熱処理の際に、真空状態で行うことで、熱処理中に酸素などの不純物が反応することがなく、高品質な製品を作ることができます。

真空炉の主な用途には、以下のようなものがあります。

焼結：粉末金属やセラミックスを高温で焼結して、堅牢で密度の高い素材を作り出すことができます。
表面処理：真空中で金属部品を加熱、放電、溶解させて、表面改質、表面硬化、膜形成、溶融粉末法や気相成長法などの薄膜形成を行うことができます。

真空炉は、高温に耐え、真空システムが安全かつ信頼できる必要があります。また、制御システムも必要であり、特定の期間にわたって温度、圧力、真空度などを制御することができます。

真空炉の使用分野は広く、半導体製造、液晶パネル製造、レアメタル加工、航空宇宙産業、医療機器製造などで使われています。真空炉を使用することで、高品質な製品を作り出すことが可能になります。