真空パージ
真空パージとは、真空状態下における空気や雑質などの不純物を排出する技術のことを指します。真空パージは、真空機器やシステムの稼働前に行われることが多く、真空状態において不純物の存在がシステムの動作に重大な影響を与える場合があるため、排出することが必要になる場合があります。
真空パージは、真空状態下で行われるため、操作時には安全性に十分配慮する必要があります。また、真空システムに不純物が残留している場合、システムに対するダメージが生じたり、逆流現象が発生したりするため、不純物を完全に除去することが重要です。真空パージは、真空技術において不可欠な処理であり、安全性を確保するためにも定期的に行うことが重要です。